今天是 管理员登录 | 旧版入口
   机电工程学院    学科与科研 >科研成果

精密超精密磨削加工

主要完成人:阎秋生教授,魏昕教授,郭钟宁教授,张永俊教授,黄志刚教授,谢小柱副教授,路家斌副教授,胡伟博士,潘继生,任庆磊等

成果简介:

    针对碳化硅(SiC)、蓝宝石、功能陶瓷、光电晶体基片、超薄不锈钢基板等超高硬脆材料,长期进行超精密磨削、超精密化学抛光、集群磁流变高效超光滑抛光、超声磨削加工、超精密复合磨削、流体二维超声振动抛光等方面研究。已获批发明专利10项,主持承担国家自然科学基金项目7项(包括广东联合基金重点项目2项),其它省部级以上项目8项。

创新点:

 (1)提出了集群磁流变高效超光滑抛光新技术,实现了单晶碳化硅(SiC)、单晶Si、钛酸锶陶瓷等基片的高效率超光滑抛光加工;

 (2)揭示了金刚石砂轮磨削时基片材料去除机理、变形规律和表面/亚表面损伤的产生机理以及软磨料砂轮磨削时基片低损伤表面的形成机理;

 (3)提出了流体二维超声振动抛光新工艺,首次利用自主编写的分子动力学软件,模拟振动抛光加工过程中纳米磨粒自由冲击过程。

产业化应用:

    该技术已在广州翔宇微电子有限公司等进行推广应用。

  

  

 

[点击数:3613 更新时间:2013-05-31 文章录入:admin]