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谢小柱 教授

1.教育与研究经历

  • 1992年~1996年,甘肃工业大学,机电工程系,大学本科/工学学士学位
  • 2000年~2002年,湖南大学,机械与汽车工程学院,硕士研究生/工学硕士学位
  • 2002年~2006年,湖南大学,机械与汽车工程学院,博士研究生/工学博士学位
  • 2010年~2011年,国家公派新加坡国立大学访问学者

2.研究方向
激光精密加工

3.职务、兼职和荣誉称号
· 广东工业大学教授、硕士生导师、副院长
·  广东工业大学第六批千百十培养对象

·  广东省光学会激光加工专业委员会委员

  •  广东省机械工程学会特种加工分会秘书长/理事
  •  广东省激光产业技术创新联盟专家委员会副主任
  •  广东省增材制造协会专家委员会委员
  •  广东省企业科技特派员

4.主持或参与的主要项目
[1]微纳悬浮颗粒与光诱导微射流辅助激光背面湿式切割蓝宝石基片的机理和方法研究.国家自然科学基金面上项目(51575114),2016.1~2019.12,63万.

[2]激光制备具有梯度润湿结构表面的平板微热管的研究.广州市科学技术计划项目(201607010156),2016.4~2019.3,20万.

[3]调Q脉冲YAG绿激光精密分割蓝宝石基片方法与机理研究.国家自然科学基金项目(50805027),2009.1~2011.12,20万.

[4]激光成形切割蓝宝石基片的技术研究.广东省普通高校特色创新项目(自然科学类,No.2014KTSCX059),2014.1~2016.12,10万.

[5]基于光诱导微射流增强效应的激光加工蓝宝石的技术研究.广东省自然科学基金项目(S2013010014070),2013.10~2015.10,5万.

[6]激光诱导背面湿式精密蚀刻加工蓝宝石的机理和方法研究.江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目,2012.9~2014.9,4万.

[7]基于流体动压效应超薄不锈钢基板化学机械抛光技术研究.广东省自然科学基金项目(10151009001000036),5万,2010.10~2012.10.

[8]清洁机械用低噪声驱动桥装置的研制及产业化.番禺区科技计划项目(2010-z-12-1),20万.

[9]基于超快激光的材料微加工及其过程检测技术开发.横向项目.10万

[10]清洁机械齿轮箱的开发.横向项目.5.5万

5.获奖情况

  • 2009、2011、2016、2017年广东工业大学优秀科技工作者
  • 2008、2012年广东工业大学教学优秀二等奖

6.近期主要论文、著作和专利

  • 期刊论文

[1] Jiang W, 谢小柱*(通讯作者), Wei X, et al. High contrast patterning on glass substrates by 1064 nm pulsed laser irradiation[J]. Optical Material Express, 2017,7(5):1565-1574. (SCI/EI收录,二区,IF 2.591)

[2] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), Xiandong Huang, Wei Jiang, et al. Three dimensional material removal model of laser-induced backside wet etching of sapphire substrate with CuSO4 solutions[J]. Optics & Laser Technology,2017,89:59-68. (SCI/EI收录,三区, IF 2.109)

[3] Jiang Wei, 谢小柱*(通讯作者), Che Ronghong, et al. Pulsed Green Laser Induced Regular Stripes on Kerf Sidewall of Sapphire Substrate[J]. Journal of Laser Micro/Nanoengineering, 2017, 12(1): 45-49. (SCI/EI收录,四区,IF 0.763)

[4] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), Z.Q. Luo, X. Wei, et al. Twin Gas Jet-assisted Pulsed Green Laser Scribing of Sapphire Substrate[J]. Journal of Laser Micro/Nanoengineering, 2016, 11(2): 170-178. (SCI/EI收录,四区,IF 0.763)

[5] Xin Wei, Xiangdong Yang, 谢小柱, et al. A material removal rate model-based chemical action of ultra-thin SUS304 substrate in chemical mechanical polishing[J]. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2016, 85(1):287-290. (SCI/EI收录,三区, IF 2.209)

[6] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), Fumin Huang, Xin Wei, et al. Modeling and optimization of pulsed green laser dicing of sapphire using response surface methodology[J]. Optics & Laser Technology, 2013, 45(1):125-131. (SCI/EI收录,三区,IF 2.109)

[7] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), M.F. Hu, W.F. Chen, et al. Cavitation Bubble Dynamics during Laser Wet Etching of Transparent Sapphire Substrates by 1064 nm Laser Irradiation [J]. Journal of Laser Micro/Nanoengineering, 2013, 8(3):259-265. (SCI/EI收录,四区,IF 0.763)

[8] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), Z.Y. Pan, X. Wei, et al. Hybrid micromachining of transparent sapphire substrate by pulsed green laser irradiation[J]. Journal of Laser Mircro/Nanoengineering, 2011,  6(3):209-213. (SCI/EI收录,IF 0.763)

[9] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), Li Li-jun, Wei X, et al. Distribution of the intensity absorbed by evaporative front in laser cutting nonmetallic material[J]. Optics and Lasers in Engineering, 2008, 46(8):604-613. (SCI/EI收录,二区,IF 2.769)

[10] Wei X, 谢小柱, JF Huang, et al. Polishing sapphire substrates by 355nm ultraviolet laser[J]. International Journal of Optics, 2012, 2012(9):1-7.

[12] 罗志良, 谢小柱*(通讯作者), 魏昕等.激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验[J]. 中国激光,第44卷,第4期:0402003-1:8页,2017. (EI收录)

[13] 江伟, 谢小柱*(通讯作者), 魏昕等. 脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片[J]. 中国激光,第43卷,第5期:0503008-1:9页,2016. (EI收录)

[14] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), 黄显东, 陈蔚芳等. 脉冲绿激光划切蓝宝石基片过程研究[J]. 中国激光,第40卷,第12期:1203010-1:9页,2013. (EI收录)

[15] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), 李力钧, 魏昕等. 有机玻璃激光气化切割前沿,中国激光[J]. 第35卷,第6期:925-930页,2008. (EI收录)

[16] 曹州权, 谢小柱*(通讯作者), 陈蔚芳等. 液体辅助激光加工过程中压力检测及应用研究进展[J]. 光电工程, 第44卷,第4期: 381-392页,2017.

[17] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), 车荣泓, 魏昕等. 红外脉冲激光诱导背面湿式刻蚀加工蓝宝石的工艺规律研究[J]. 应用激光, 第35卷,第2期:236-241页,2015.

[18] 黄福民, 谢小柱*(通讯作者), 魏昕等. 半导体晶圆激光切割新技术[J]. 激光技术,第36卷,第3期:293-297页,2012.

[19] 谢小柱*(第一作者,通讯作者), 魏昕等. 线偏振CO2激光对非金属材料切缝的影响[J]. 激光技术,第32卷,第4期:399-401页,2008.

 

  • 邀请报告

[1] 谢小柱. Laser Induced Backside Wet Etching of Sapphire Substrate, The 12th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR2017), Singapore, 2017.7.31-8.4.

[2] 谢小柱. 难加工材料的激光加工技术应用, 华南激光展技术论坛, 中国广州, 2016.12.8

[3] 谢小柱. 激光加工蓝宝石的技术及应用,亚洲激光论坛(ALAT2015),中国深圳, 2015.5.8-5.9

  • 会议论文

[1]  M. Tang, 谢小柱, J. Yang, Z. C. Chen, L. Xu, Y. S. Choo, M.H. Hong. Laser microprocessing and nanoengineering of large-area functional micro/nanostructures. SPIE, 2011, 8204, 820428 (EI/ISTP收录)

[2]  谢小柱, Fumin Huang, Xin Wei, Wei Hu, Qinglei Ren, Xuerui Yuan. Ablation threshold of sapphire by pulsed green laser in nanosecond regime. Advanced Materials Research, 2011, 314-316: 1930-1934 (EI/ISTP收录)

[3]  谢小柱, Huang Fu-min, Wei Xin, Hu Wei, Ren Qing-lei. Experimental study of laser dicing sapphire substrate by green DPSS laser. SPIE, 2010, 7844, 78440T(EI/ISTP收录)

[4]  谢小柱, J.G. Lu, X. Wei, W. Hu. . Influence of beam polarizations on evaporative laser cutting nonmetallic materials within high absorptance. Materials Science Forum, 2009, 626-627:363-368 (EI/ISTP收录)

[5]  谢小柱, LI Li-jun, WEI Xin, HU Wei. . Mechanism of CO2 laser cutting nonmetallic materials based on wall focusing effects.SPIE, 2008, 68258 (EI/ISTP收录)

[6]  Wei X., 谢小柱, Huang J. F, Hu W. Experimental study on polishing sapphire substrate by Q-switched 355nm laser with nanosecond pulses.  Proceedings of the 9th International Conference on Frontiers of Design and Manufacturing July 17-19, 2010, Changsha, China

  • 专利

[1] 谢小柱,江伟,魏昕等.一种粒径分布可控的铜微纳颗粒的化学激光复合制备方法. 发明专利授权201610298631.5. 授权日期2017.10.

[2] 谢小柱,江伟,魏昕等.一种自动生产线的激光黑色打标方法.发明专利授权ZL 201511035661.9.授权日期 2017.6.

[3] 谢小柱,罗志强,魏昕等.一种具有非连续毛细结构微热管的激光制备方法. 发明专利授权ZL 201410857214.0. 授权日期 2017.1.

[4] 谢小柱,高勋银,魏昕等.一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置. 发明专利授权ZL 201410229233.9. 授权日期 2016.6.

[5] 谢小柱,魏昕,苑学瑞等.增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法. 发明专利授权ZL 201310181566.4. 授权日期 2016.04.

[6] 谢小柱,魏昕,黄福民等.一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法. 发明专利授权ZL 201210346105.3. 授权日期 2015.06.

[7] 魏昕,谢小柱,郭晓艳等.蓝宝石的抛光装置及其抛光方法. 发明专利授权ZL 200910037054.4. 授权日期 2009.10.

[8] 谢小柱,江伟,魏昕等.一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备系统. 实用新型授权201620844729.1. 授权日期 2017.4.

[9] 谢小柱,江伟,魏昕等.一种自动生产线的激光黑色打标系统. 实用新型授权ZL 201521145140.4. 授权日期 2017.01.

[10] 谢小柱,江伟,魏昕等.一种粒径分布可控的铜微纳颗粒的化学激光复合制备系统. 实用新型授权201620408950.2. 授权日期 2016.11.

[11] 魏昕,袁文强,谢小柱等.化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置. 实用新型授权ZL201520219006.8. 授权日期 2015.9.

[12] 江伟,谢小柱,魏昕等.一种用于激光背面湿式加工蓝宝石基片的夹具装置. 实用新型授权ZL 201520374304.4. 授权日期 2015.8.

[13] 江伟,谢小柱,魏昕等.一种玻璃黑色打标的激光加工装置. 实用新型授权ZL 201520374316.7. 授权日期 2015.8.

[14] 魏昕,袁文强,谢小柱等.一种带真空吸盘的抛光头. 实用新型授权ZL 201420589811.5. 授权日期 2015.2.

[15] 谢小柱,高勋银,魏昕等.一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置. 实用新型授权ZL 201420281978.5. 授权日期 2014.07.

[16] 谢小柱,魏昕,苑学瑞等.增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置. 实用新型授权ZL 201320267412.2. 授权日期 2013.05.

[17] 魏昕,谢小柱,郭晓艳等.蓝宝石的抛光装置. 实用新型授权ZL 200920050957.1. 授权日期 2009.12.

 

□通信地址
办公地点:广东工业大学工学二号馆203/705
通信地址:广州大学城外环西路100号
邮政编码:510006
联系电话:(020)39322209
Fax: (020)39322415
个人主页:http://www.scholat.com/xiaozhuxie
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[点击数:8997 更新时间:2018-03-12 文章录入:mjl]